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수평식 튜브로

수평식 튜브로

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대한민국, 대구시
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설명
수평식 튜브로
개요
- Horizontal Tube Furnace
- 발열체 : SiC
- 프로세스 튜브 : Quartz

분위기 기스
- Ar / N2 / O2 /He / Vacuum

용도

- wafer 열처리, 신소재 산화, 소결, 환원 등.

사양
- Heater temperature : 200℃ ~ 1300℃
- Furnace tube : 1 - tube (Max 3-tube)
- Wafer size : 4 inch, 6 inch, 8 inch
- Loading capacity : 15 ~ 100 pcs
- Ultimate pressure : 5×10 -3 torr
- Vacuum pump : Rotary pump (option : Booster or Turbo pump)
- Heater : SiC
- Process control : Auto process. control
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