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설명
Description Specification Remarks
C-Plane C-axis〔0001〕±0.3°
OF-Plane A-axis〔11-20〕±0.3°
Diameter 50.8 ± 0.1mm
OF-Plane Length W=16 ± 0.8mm
Thickness 410 ± 20㎛
Micro-Roughness Ra ≤ 0.3 nm
TTV ≤20㎛
Bow ≤20㎛
Flatness ≤10㎛
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