説明
MultiBeam FIB
JIB-4501は、1台で表面及び内部の3次元画像化や分析が簡単操作で実現でき、FIB加工からSEM観察、EDS、EBSD分析まで全ての機能に配慮した最適配置設計の複合ビーム加工観察装置です。主な特徴
・ 高性能LaB6SEM＋高性能・大電流FIB・ FIB 加工から SEM 観察、EDS、EBSD 分析まで全ての機能に配慮した最適配置設計
・ FIB での加工状況が SEM 画像でリアルタイムにモニタ
・ 無人断面試料作製が可能な自動加工レシピ標準装備
・ 試料保護膜作製用ガスインジェクションシステムを複数装着可能
・ 非導電性試料のチャージ対策に低真空機能を用意
主な仕様
【 FIB (集束イオンビーム) 】| イオン源 | Ga 液体金属イオン源 |
| 加速電圧 | 1 ～ 30kV |
| 倍率 | ｘ 30（視野探し用）、x 100 ～ x 300,000 |
| 像分解能 | 5nm（30kV 時） |
| ビーム電流 | 0.5pA ～60nA（30kV時） |
| 加速電圧 | 0.3～30kV |
| 倍率 | ×5～×300,000 |
| 像分解能 | 2.5nm（30kV時） |
| ビーム電流 | 1pA ～1μA |
| 試料ステージ | ゴニオメータステージ X:76mm、Y:76mm、Z:5～48mm T:－10～90°、R:360° |
主なアタッチメント
・ EDS（エネルギー分散型X線分析装置）・ EBSD （EBSDシステム）
・ CLD （カソードルミネッセンス検出器）
・ SCS （チャンバースコープ）
・ GIS (ガスインジェクションシステム )
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JIB-4501 複合ビーム加工観察装置
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