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SC涡旋式真空泵
目前半导体、平板显示、太阳能光伏电池以及化学工业的发展迅速,对洁净真空的要求越来越高。为了满足客户对无油洁净真空的需求,欧瑞康莱宝推出了 SC系列涡旋式真空泵。
1、SC系列真空泵特点:
·可以提供抽速为5,15,30和60m3/h的4款产品SC5/15/30D/60D;
·高极限真空,最低可达0.01mbar;
·低噪声;
·低振动;
·允许进气压力大;
·重量轻;
·能耗低;
2、应用范围:
·电子束焊接;
·激光;
·检漏系统;
·加速器/同步加速器;
·表面分析仪;
·STM's;
·ELMI;
·小型涡轮泵组;
·进样室;
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