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Description
| 主要参数 | |
| 晶棒直径 | 2-6′ |
| 晶棒长度 | 400㎜ |
| 样品板面积 | 42(宽)×70(高) |
| 定向精度 | ±30″ |
| 数显最小读数 | 10″ |
| 电路原理 | YX—2 |
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※如有特殊要求,可按客户要求设计加工制造。 |
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特 点： YX-2D6晶体定向仪是在标准定向仪基础上,针对单 晶硅、砷化镓、蓝宝石等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量，对管套、测角仪进行改进,显示器为外置式,样品台加装承重轨道,可测2---6英寸晶 圆片,长400毫米,重30公斤的晶棒;主要测量晶面角度:110 、111 、 100、511等及其它相关晶体的晶向角度。 YX-2D6射线晶体定向仪标准配置为GA、GC、测角仪。其中GC样品后，两个滚杆可调整宽度，以便能测2'-6'晶棒端面。 两边测角仪用户也可根据本公司晶体规格、形状选配不同型号测角台,请参考我公司设计的G系列测角仪（GA、GB、 GC、 GE、 GF、GH）型号选购. |
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| YX-2D6通用型；适用；晶片、晶棒 1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；111, 100, 211等角度；能测晶棒参考面110；OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。 2、另一侧GC测角仪能测Φ2---Φ6英寸晶圆片111, 100,211 等角度；能测晶棒Φ2---Φ6英寸,400㎜长晶棒端面 111, 100等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。 YX-2D6A适用；晶片、晶棒参考面 1、一侧GAA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；111, 100, 211等角度；有划线参考尺，能立的测Φ2---Φ6英寸，高400㎜晶棒参考110；OF面等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。 2、另一侧GC测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸；111, 100,211 晶圆片等角度；能测晶棒Φ2---Φ6英寸,400㎜长晶棒端面 111, 100等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。 YX-2D6B适用；晶棒、籽晶 1、一侧GB测角仪能测晶圆片111, 100,211 等角度；能测晶棒Φ4---Φ8英寸,400㎜长晶棒端面 111, 100,OF等角度；蓝宝石,C,R面等角度。 2、另一侧GF测角仪配置一个高度可调籽晶测试架，测Φ5—20㎜圆或方型长180㎜籽晶端面111,100角度；蓝宝石,C,R面等角度。 YX-2D6C适用；晶片、晶片参考面> 1、一侧GA测角仪能测Φ2---Φ6英寸晶圆片，111, 100, 211等角度；蓝宝石A,C,R面等角度。 2、另一侧GD测角仪能测Φ2---Φ6英寸晶圆片，晶棒切片后的参考面OF面110 等角度；蓝宝石A,面等角度。 YX-2D6D适用；晶片 二测试台均为GE测角仪能测Φ2---Φ8英寸晶圆片，111, 100, 211等角度；蓝宝石C,R面等角度。晶片样品板有10×10㎜方格，用于晶圆片2点180°和4点90°的测试。 如果想要了解详细技术参数与照片，请来电咨询，我们将热情为您回复。 |
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YX-2D6型X射线晶体定向仪
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